激光干涉仪

发布时间：

2026-04-20

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设备名称：激光干涉仪

设备功能：该仪器主要用于提供高精度的平面面形、球面面形以及曲率半径的测量，同时能够完成样品表面质量、传输波前（Transmitted Wavefront）以及光学材料均匀性的分析与评估。此外，它还能辅助进行棱镜角度偏差、直角偏差以及精密圆盘质量的检测，配合计算机辅助装调技术，可有效指导复杂光学系统的精密装配过程。设备搭载功能强大的MetroPro®数据分析软件，能够获得高重复性和高精度的测量结果，支持显示可旋转的3D彩色图像、剖面图及各种统计数字，便于用户直观分析光学元件的表面形貌特征

设备参数：该仪器采用波长为632.8纳米的氦氖（He-Ne）激光光源作为工作光束，属于Class II类激光器。其标准测量光束直径（通光口径）为4英寸（约102毫米），最大可扩展测量口径可达150毫米。在测量精度指标上，该设备的系统平面面形测量精度可达λ/20（PV值），球面面形精度为λ/10（PV值），表面粗糙度重复精度优于0.1纳米。在使用三平面法进行绝对测量时，其重复性优于λ/300（2σ），均方根（RMS）重复性优于λ/10,000（2σ）。硬件配置上，设备采用高分辨率CCD进行图像采集，标准分辨率为640×480像素，并可选配升级至1K×1K（1024×1024）像素以提高采样精度。数据采样速度方面，低分辨率模式（7幅数据图像）下为93毫秒，高分辨率模式（13幅数据图像）下为173毫秒。此外，其条纹分辨率可达180条，测量分辨率优于λ/8000。设备支持水平式或立式等多种构型，光学中心线高度为4.25英寸（约108毫米），并配备快速条纹采样系统（QFAS）以辅助对准