SCIENTIFIC RESEARCH

双面对准光刻机

发布时间:

2026-04-20

来源:

作者:


设备名称:双面对准光刻机

设备功能:微纳结构与器件图形光刻

设备参数:分辨率0.8um,正面对准精度±0.5 um,背面对准精度±1um

设备图片:

是否可提供对外服务

设备联系人:姜辉

联系方式:13583175019


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