欢迎访问山东省科学院激光研究所网站!
OA系统丨一网通丨财务报销丨山东省科技云丨邮箱入口 | 光电学部
网站首页
机构概况
所长致辞
单位简介
领导分工
机构设置
部门职责
人才队伍
人才概况
国家级人才
省级人才
师资队伍
招聘信息
科学研究
研发团队
成果专利
科学奖励
创新机构
国际合作
重大仪器
成果推介
成果汇编
合作交流
国际交流
国内交流
学术交流
人才培养
专业介绍
招生简章
硕士生导师
博士生导师
国家级平台
带路实验室
顶尖科学家工作室
党群工作
组织机构
理论园地
党建活动
新闻资讯
新闻动态
通知公告
研究所风采
媒体聚焦
文化建设
联系我们
发布时间:
2026-04-20
来源:
作者:
设备名称:反应离子刻蚀(RIE)
设备功能:多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺,适用于微米级和纳米级制程工艺
设备参数:适用于最大尺寸为200毫米的晶圆
设备图片:
是否可提供对外服务: 是
设备联系人:李仕龙
联系方式:13261531690
上一条
双面对准光刻机
电感耦合等离子体刻蚀(ICP)
下一条
地址:山东省济宁市高新区海川路46号
电话:0537-2338364
邮箱:zpzy@qlu.edu.cn
网址:http://www.sdlaser.cn/
移动端网站
网站建设:中企动力济南